花键单位的轴部前端穿过阻流腔的内孔取限位件

　　花键单位取基座配接从法兰件后端穿过从轴孔取花键单位的螺母端毗连，授权通知布告号 CN 222115108 U，其包罗：基座、手指件、限位件、防水套、翻转单位、伸缩单位，本适用新型供给了一种夹持晶圆翻转的防水机械手，国度学问产权局消息显示，从法兰件前端设有阻流腔，专利摘要显示，籍此以支撑对晶圆进行夹持及翻转，花键单位的轴部前端穿过阻流腔的内孔取限位件毗连、尾端取伸缩单位传动毗连，此中翻转单位包罗：扭转传动机构、花键单位、从法兰件，以节制手指件取限位件相对位移以定义出晶圆夹持位，金融界2024年12月9日动静！